Дубоко зароните у технологију полисилицијума ниске температуре: језгро ТФТ екрана и индустријске апликације

Преглед технологије танкослојних транзистора

У модерним панелима са активном матрицом, транзистор танког филма (ТФТ) служи као главна покретачка компонента. Активни регион канала је првенствено направљен од силицијумског материјала. На основу разлика у процесу и перформансама, ТФТ-ови су углавном класификовани у три типа: аморфни силицијум (а-Си), полисилицијум ниске температуре (ЛТПС) и полисилицијум високе температуре (ХТПС). 

Међу њима, нискотемпературна полисилицијумска (ЛТПС) технологија је постала главни избор за 6. генерацију и испод производних линија због своје одличне мобилности електрона, мале потрошње енергије, високе резолуције и релативно једноставног производног процеса.

Детаљна анализа дизајна ЛТПС-ТФТ структуре

Као што је приказано на слици 1, типична структура ЛТПС-ТФТ типа ЛДД (лигхтли допед драин) се првенствено састоји од супстрата и пуферског слоја. Подлога је обично направљена од оптичког стакла без алкалија, на које се наноси пуферски слој од силицијум диоксида (СиО₂) или двослојна структура СиО₂/СиНк. 

Кључна функција овог пуферског слоја је да спречи дифузију металних јона из стакла у активни регион полисилицијума, чиме се потискује формирање дефеката и струја цурења.

У поређењу са једнослојним СиО₂, СиНк (силицијум нитрид) има вишу диелектричну константу (СиО₂ ~4, СиНк 6–8), нудећи бољу отпорност на квар, перформансе баријере и могућност поправке оксидације. Силицијум нитрид припремљен помоћу ПЕ-ЦВД може имати садржај кисеоника до приближно 10²² цм⁻³, обезбеђујући стабилност уређаја.

За процес поликристализације, слој аморфног силицијума мора се претворити у полисилицијумски слој. Уобичајене методе укључују кристализацију у чврстој фази, металом индуковану бочну кристализацију (нпр. никлом индуковану) и ласерску кристализацију.

 Међу њима, ласерска кристализација постиже кристализацију тренутним топљењем на високој температури, нудећи високу ефикасност и уједначена зрна. Међутим, треба напоменути да ако се користи двослојна СиО₂/СиНк пуферска структура, током ласерске кристализације може доћи до појаве експлозије водоника, што доводи до дефеката. 

Решења укључују извођење печења дехидрогенације пре ласерске кристализације или коришћење једнослојне СиО₂ структуре са изузетно ниским садржајем водоника.

ЛДД технологија укључује имплантацију ниске дозе јона у регионе извора/дрена унутар капије, прецизно контролишући концентрацију допинга како би се формирала концентрацијска тампон зона са високом серијском отпорношћу. Ово ефикасно смањује локални градијент електричног поља, потискује струју цурења и избегава ефекат врућег носача.

Индустријске апликације и професионална решења за приказ

Како технологија екрана еволуира ка вишој резолуцији, мањој потрошњи енергије и тањим факторима форме, ЛТПС-ТФТ је постао критичан технолошки пут за екране средњег и високог квалитета. У практичној имплементацији производа, укупни дизајн и производне могућности модула за дисплеј су подједнако важни.

У овој области, ЦНК (скраћеница за ЦНАОКЕ Елецтроницс) је специјализовано технолошко предузеће које се бави развојем, производњом и продајом уређаја за приказ и ХМИ (људско-машински интерфејс) интерактивних производа, препознато као „специјализовано, префињено, препознатљиво и иновативно“ предузеће.

Његови главни производи укључују једнобојне ЛЦД и монохромне модуле, ТФТ модуле од 0,96‑ до 15,6‑инча, ОЛЕД модуле и ХМИ интерактивне модуле, који се широко користе у индустријској контроли, паметној кући, медицинској опреми, аутомобилским дисплејима и многим другим пољима.

Било да се ради о основним потребама за дисплејом помоћу ЛЦД екрана или за решења високих перформанси која захтевају произвођачи ЛЦД екрана, ЦНК пружа прилагођена, исплатива решења. Користећи напредне производне линије и строги систем контроле квалитета, ЦНК наставља да испоручује стабилне, основне компоненте екрана својим купцима.

Закључак

Од основне ЛТПС ТФТ технологије до интеграције и оптимизације комплетних дисплеј модула, сваки напредак у индустрији дисплеја ослања се на синергију материјала, процеса и могућности дизајна. ЦНК ће наставити да продубљује своје присуство на пољу екрана и интеракције између људи и машина, помажући да више крајњих производа постигне јасније и паметније искуство приказа.

О ЦНК

Основан у Шенжену 2010. године, ЦНК Елецтроницс (ЦНК укратко) проширио је водећу светску фабрику у Лонгиану, Фујиан 2019. То је национално специјализовано и иновативно предузеће „мали гигант“ које је специјализовано за дизајн, развој, производњу и продају производа за екране. ЦНК пружа купцима читав низ исплативих малих и средњих дисплеј модула, решења и услуга одличног квалитета широм света. Оријентисан на технологију и висок квалитет, ЦНК одржава одрживи развој, ради на томе да клијентима понуди боље и стабилне услуге.